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電子氣

簡要描述：電子氣：按組分的性質分類，大致分為三類，即單質類氣體（O2、N2、Ar、H2、He）、化合物類氣體（SiH4硅烷、PH3磷烷、AsH3砷化氫、CO一氧化碳、B2H6乙硼烷、Hcl氯化氫、NH3氨、CF4四氟甲烷、SiF4四氟硅烷等）、混合物類氣體（SiH4+稀釋氣（Ar、N2）、PH3+稀釋氣（Ar、N2）、NH3+稀釋氣（Ar...

更新時間：2023-02-22 11:27:51
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電子氣：
按組分的性質分類，大致分為三類，即單質類氣體（O₂、N₂、Ar、H₂、He）、化合物類氣體（SiH₄硅烷、PH₃磷烷、AsH₃砷化氫、CO一氧化碳、B₂H₆乙硼烷、Hcl氯化氫、NH₃氨、CF₄四氟甲烷、SiF₄四氟硅烷等）、混合物類氣體（SiH₄+稀釋氣（Ar、N₂）、PH₃+稀釋氣（Ar、N₂）、NH₃+稀釋氣（Ar、N₂）等）。

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